德國PI PicoCube XY(Z)壓電掃描儀

：PI(Physik Instrumente)
公司簡介：
   德國PI公司是運動和定位領(lǐng)域的解決方案供應(yīng)商。
   PI不僅開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺和執(zhí)行器，用于線性，旋轉(zhuǎn)和垂直運動或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應(yīng)客戶特定的應(yīng)用或提供用于運動和定位的成品子系統(tǒng)。

產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域：
半導體制造
醫(yī)學工程
生物技術(shù)
工廠工程
表面計量
天文學

X、Y向上的串擾（Z向運動） 5    -    納米

機械特性

 X、Y向上的空載諧振頻率   3.1    4.2   千赫茲

Z向上的空載諧振頻率 9.8 - 千赫茲

帶負載時X、Y向上的諧振頻率 1.5 (20 克) 2.1 (20 克) 千赫茲

負載容量 10 10 牛

陶瓷類型 PICA, PICA Shear PICA Shear

其他 工作溫度范圍 -20 到 80 -20 到 80 °C

材料 鈦金屬 鈦金屬

尺寸 30 毫米 × 30 毫米 × 40 毫米

30 毫米 × 30 毫米 × 28 毫米

質(zhì)量 225 190 克

電纜長度 1.5 1.5 米

傳感器/電壓連接 Sub-D24W7（公頭） Sub-D24W7（公頭）

推薦電控 E-536 E-536

訂購信息

P-363.2CD PicoCube高精度XY向納米定位系統(tǒng)，5微米 × 5微米，平行計量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-363.2CL PicoCube高精度XY向納米定位系統(tǒng)，5微米 × 5微米，平行計量，電容傳感器，LEMO連接器

德國PI PicoCube XY(Z)壓電掃描儀